Plaque épitaxiale SiC-GaN EPI Description
La plaquette épitaxiale (EPI) désigne une couche mince de semi-conducteur développée sur un substrat. Le film mince est principalement composé de type P, de puits quantique et de type N. Actuellement, le matériau épitaxial le plus courant est le nitrure de gallium (GaN), et les principaux substrats sont le saphir, le silicium et le carbure de silicium.
Actuellement, les couches épitaxiales ordinaires, les couches épitaxiales à structure multicouche, les couches épitaxiales à ultra-haute résistance et les couches épitaxiales ultra-épaisses peuvent être utilisées sur des substrats en silicium. La résistivité de la couche épitaxiale peut atteindre plus de mille ohms. Les types de conductivité sont P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+ et bien d'autres.
Spécifications des plaques épitaxiées SiC-GaN EPI
Diamètre de la plaquette
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4"
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5"
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6"
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8"
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Couche EPI
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Dopant
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Bore, Phos, Arsenic
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Orientation
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<100>, <111>
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Type de conductivité
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P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+
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Résistivité
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0,001-50 Ohm-cm
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Rés. Uniformité
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Standard <6%, Capacités maximales <2%
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Épaisseur (um)
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0.1-100
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Uniformité de l'épaisseur
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Standard <3%, Capacités maximales <1%
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Support
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Orientation
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<100>, <111>
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Type de conductivité/Dopant
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Type P/Boron, Type N/Phos, Type N/As, Type N/Sb
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Épaisseur (um)
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300-725
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Résistivité
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0,001-100 Ohm-cm
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État de surface
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P/P, P/E
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Particules
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<50@.0.5um
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Applications de l'EPI SiC-GaN pour les plaquettes épitaxiées
Les plaquettes épitaxiées de silicium sont le matériau de base utilisé pour fabriquer une large gamme de dispositifs semi-conducteurs et sont utilisées dans l'électronique industrielle, militaire et spatiale.
Emballage des plaquettes épitaxiées SiC-GaN EPI
Nos plaquettes épitaxiales SiC-GaN EPI sont manipulées avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.