AC5592 Mandrin électrostatique (Al2O3)

Mandrin électrostatique Description :

Lemandrin électrostatique (ESC) est un composant essentiel utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de gravure au plasma, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il sert à maintenir et à libérer les plaquettes de semi-conducteurs ou les substrats en toute sécurité pendant le traitement. L'ESC fonctionne sur la base de la force électrostatique ; lorsqu'une tension est appliquée, il génère un champ électrostatique qui maintient la plaquette en place sans contact physique, ce qui permet un refroidissement et un chauffage uniformes de la plaquette, ainsi qu'une excellente planéité et une contamination minimale de l'arrière de la plaquette.

Le mandrin électrostatique (ESC) en Al2O3, ou oxyde d'aluminium, est un dispositif utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs pour maintenir et libérer les plaquettes de semi-conducteurs en toute sécurité pendant le traitement. L'oxyde d'aluminium est apprécié pour ses excellentes propriétés d'isolation électrique, de conductivité thermique et de stabilité chimique. Dans le contexte d'un mandrin électrostatique, l'Al2O3 sert principalement de matériau diélectrique qui facilite le serrage électrostatique des plaquettes de semi-conducteurs.

Spécifications des mandrins électrostatiques :

Applications des mandrins électrostatiques

• Gravure et nettoyage au plasma : Maintien des plaquettes en place pendant les processus de gravure, lorsqu'un enlèvement de matière précis est nécessaire.
• Dépôt de couches minces : S'assurer que les plaquettes restent immobiles et à des températures contrôlées pendant le dépôt de couches de métal, de diélectrique et de semi-conducteur par des techniques CVD ou PVD.
• Photolithographie : Bien que moins courants, ils peuvent être utilisés pour maintenir les plaquettes pendant le processus de lithographie, au cours duquel les motifs sont transférés sur la surface de la plaquette.

Emballage des mandrins électrostatiques

Nos mandrins électrostatiques sont manipulés avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.