AC5591 Mandrin électrostatique (Al2O3, SiO2, MgO)

Description du mandrin électrostatique

Lemandrin électrostatique (ESC) est un composant essentiel utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les processus de gravure au plasma, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Il sert à maintenir et à libérer les plaquettes de semi-conducteurs ou les substrats en toute sécurité pendant le traitement. L'ESC fonctionne sur la base de la force électrostatique ; lorsqu'une tension est appliquée, il génère un champ électrostatique qui maintient la plaquette en place sans contact physique, ce qui permet un refroidissement et un chauffage uniformes de la plaquette, ainsi qu'une excellente planéité et une contamination minimale de l'arrière de la plaquette.

Al2O3 (oxyde d'aluminium), SiO2 (dioxyde de silicium) et MgO (oxyde de magnésium) sont généralement utilisés comme couches diélectriques ou composants dans la construction des mandrins électrostatiques en raison de leurs excellentes propriétés d'isolation électrique, de stabilité thermique et de résistance chimique.

Spécifications des mandrins électrostatiques

Applications des mandrins électrostatiques

• Gravure au plasma : les mandrins électrostatiques sont largement utilisés dans les processus de gravure au plasma pour maintenir solidement en place les plaquettes de semi-conducteurs.
• Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : Dans les procédés CVD, les ESC aident à maintenir la plaquette dans une position fixe à des températures élevées et dans des environnements chimiques réactifs.
• Dépôt physique en phase vapeur (PVD) : Pour les procédés PVD, les ESC veillent à ce que les plaquettes soient maintenues à plat et stables, ce qui facilite le dépôt uniforme d'une couche de métal ou de diélectrique.
• Implantation d'ions : Les ESC sont utilisés pour maintenir les plaquettes pendant l'implantation ionique, où les ions sont incorporés dans la surface de la plaquette pour modifier ses propriétés électriques. Le mandrin assure un positionnement précis et la stabilité de la plaquette sous le faisceau d'ions.
• Photolithographie : Bien que moins courants que dans les processus de gravure et de dépôt, les mandrins de serrage peuvent également être utilisés en photolithographie pour maintenir les plaquettes stables pendant l'exposition à des motifs lumineux. La stabilité est cruciale pour obtenir la haute précision nécessaire à la création de motifs.

Emballage des mandrins électrostatiques

Nos mandrins électrostatiques sont manipulés avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.