IF5686 (Abandonné) 1100C Four vertical KSL-1100X-L-VT

1100C Four vertical KSL-1100X-L-VT Description

Le fourvertical 1100C est un four vertical scellé sous vide comprenant une chambre à tubes de quartz mesurant Ø200×Ø190×H425 mm, complète avec des brides et des vannes en acier inoxydable. Ce four est équipé d'une turbopompe Torr, lui permettant d'atteindre un niveau de vide de 10^-5 Torr. Conçu pour la calcination ou le recuit de plaquettes de semi-conducteurs (jusqu'à 8 pouces de diamètre), il fonctionne sous vide ou sous diverses atmosphères gazeuses, atteignant des températures allant jusqu'à 1100°C.

Four vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Caractéristiques techniques

Four vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Applications

• Fabrication de semi-conducteurs : Utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium, les MEMS (systèmes micro-électro-mécaniques) et les cellules photovoltaïques. Les fours verticaux sont utilisés pour des processus tels que l'oxydation, la diffusion, le LPCVD (dépôt chimique en phase vapeur à basse pression) et le recuit.
• Dépôt de couches minces : Utilisé pour le dépôt de couches minces sur des substrats à l'aide de techniques telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt de couches atomiques (ALD). Les fours verticaux offrent un environnement contrôlé pour un contrôle précis de l'épaisseur et de la composition des films.
• Production de cellules solaires : Appliqué à la fabrication de cellules solaires et de modules photovoltaïques. Les fours verticaux sont utilisés pour des processus tels que la diffusion, le dépôt de revêtement antireflet et la métallisation afin d'améliorer l'efficacité et les performances des cellules solaires.

Four vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Emballage

Notre four vertical 1100C KSL-1100X-L-VT est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.