IF5320 (Abandonné) 650C Four CSS à deux zones pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-II

Structure du four et chambre à vide

• Deux réchauffeurs, deux régulateurs de température et des débitmètres de gaz à deux canaux sont intégrés dans un cadre mobile en alliage d'aluminium.
• La chambre est constituée d'un tube de quartz fondu de haute pureté.
• Taille du tube de quartz : 11" OD/10.8" ID x 9" H
• L'isolation thermique est assurée par un feutre en fibre de carbone.
• Les brides de vide sont en acier inoxydable 316.
• Dimensions totales : 850(L)×745(L)×1615(H) mm

Brides à vide

• La bride supérieure avec un port de vide KFD-25 et deux sorties de gaz (tuyau de 1/4" requis) peut coulisser vers le haut ou vers le bas manuellement pour charger et décharger facilement le substrat et le matériau évaporé.
• La bride inférieure possède un port de vide KFD-25 avec deux entrées de gaz (tuyau de 1/4" requis) et des vannes à aiguille.
• La bride est scellée par des joints toriques doubles en silicone et peut atteindre une pression de vide maximale de 10E-2 Torr avec une pompe mécanique de qualité et de 10E-5 Torr avec une pompe moléculaire.
• Un vacuomètre numérique de précision anticorrosion est inclus dans l'emballage standard.

Chauffage et porte-échantillon

• Deux lampes IR à ondes courtes servent d'éléments chauffants pour un chauffage rapide.
• La distance entre les deux éléments chauffants est réglable de 10 à 50 mm.
• Les éléments chauffants sont en acier inoxydable avec une enveloppe d'eau froide pour réduire le rayonnement thermique et permettre un refroidissement rapide.
• Un porte-gaufrettes rond de 3" est intégré à l'élément chauffant supérieur pour charger le substrat.
• Une plaque AlN à haute conductivité thermique (3" de diamètre x 0,5 mm d'épaisseur) est incluse. Elle doit être placée à l'arrière du substrat pour le chauffer uniformément.
• Une plaque de graphite de 3" peut être utilisée à la place de la plaque AIN.
• Le remplacement de l'élément chauffant halogène est disponible moyennant un supplément de prix.

Contrôleur de température

• Deux régulateurs de température numériques de précision avec 30 segments programmables pour contrôler indépendamment les chauffages supérieur et inférieur.
• Chaque régulateur est doté d'une fonction d'autoréglage PID pour protéger les éléments chauffants de tout dépassement et d'une fonction d'alarme pour éviter la surchauffe et la rupture du couple thermique.
• L'interface de communication PC et le logiciel sont installés

Température de fonctionnement

• Température maximale pour chaque réchauffeur : ≤ 650℃
• La différence de température maximale entre deux réchauffeurs : ≤ 300℃ dépend de l'espacement entre deux réchauffeurs :

Taux de chauffage et de refroidissement

• Chauffage : < 8℃/s ( chauffage simple seulement )
• Refroidissement : < 10℃/s (600 - 100℃) Max.

Couple thermique

• Deux couples thermiques de type K (exposés) sont installés sur les réchauffeurs supérieurs et inférieurs séparément.

Tension de fonctionnement

• 208 - 240VAC, monophasé, disjoncteur 20A

Puissance requise

• 2200W au total (1100W pour chaque chauffage)

Garantie

• Limitée à un an avec assistance à vie (les pièces consommables telles que les tubes de quartz et les lampes chauffantes ne sont pas couvertes par la garantie).

Conformité

• Certifié CE